半导体制造
半导体制造涉及晶圆加工、光刻及精密检测等复杂工艺,对供电稳定性和电能质量要求极高。电网故障、大型电机启动等因素引起的短时电压暂降,可能导致敏感设备停机、工艺中断和产品损失,增加生产恢复成本。
英博电气针对半导体制造的供电需求,提供基于动态电压恢复器的电压暂降治理解决方案。在电网电压发生短时扰动时,通过快速电压补偿降低关键设备受到的影响,提升敏感负载的电压暂降耐受能力,为生产过程的连续运行提供支持。
半导体制造
半导体制造涉及晶圆加工、光刻及精密检测等复杂工艺,对供电稳定性和电能质量要求极高。电网故障、大型电机启动等因素引起的短时电压暂降,可能导致敏感设备停机、工艺中断和产品损失,增加生产恢复成本。
英博电气针对半导体制造的供电需求,提供基于动态电压恢复器的电压暂降治理解决方案。在电网电压发生短时扰动时,通过快速电压补偿降低关键设备受到的影响,提升敏感负载的电压暂降耐受能力,为生产过程的连续运行提供支持。
典型案例:
半导体制造设施项目
项目背景
该客户主要从事半导体器件及晶圆制造,生产工艺对供电连续性要求较高。其中,关键水泵系统承担着重要的生产辅助任务,需要稳定可靠的电力供应,以保障相关生产环节的正常运行。
面临挑战
半导体制造设备及其配套系统对电压扰动较为敏感。短时电压暂降可能导致关键水泵系统运行异常或意外停机,进而影响相关生产工艺的连续性,因此需要提高关键负载的电压暂降耐受能力。
英博电气针对项目关键水泵系统的供电需求,提供INPAVC动态电压恢复解决方案
* 关键负载保护: 针对关键水泵系统配置INPAVC设备,降低电压暂降对其正常运行的影响。
* 快速电压补偿: 在电网出现电压暂降时,通过动态电压补偿技术改善负载侧电压。
* 设备参数配置:INPAVC设备容量为 50 kVA,电压暂降支撑时间为 3 s,满足项目关键负载的保护需求。
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参数 |
规格 |
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受保护的设备 |
关键水泵系统 |
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设备容量 |
50kVA |
| 电压暂降支撑时间 |
3秒 |




该方案提高了关键水泵系统的电压暂降耐受能力,有助于降低短时电压扰动引发的设备停机风险,减少对生产过程的影响,为半导体制造设施稳定运行提供支持。
方案价值
确保生产连续性
快速补偿电压扰动,以减少计划外停机和生产中断。
减少经济损失
防止电压暂降造成的产品损失、设备重启成本和运营中断。
保护关键设备
减少电压扰动对敏感设备的影响,延长使用寿命。
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