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英博电气中标高功率芯片生产项目

英博电气中标高功率芯片生产项目

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【摘要】:

 

项目简介

 

本项目为建筑面积115,747.21平方米的工业厂房,主要生产高功率半导体芯片。

 

半导体制造机台设备极为昂贵,不少设备价值高达几百万美元,并且性能极为精密,对工作条件的要求也非常苛刻。半导体芯片制造企业更是资本密集、技术密集型产业,芯片制造厂也是公认的生产最为复杂的工厂之一。

 

其生产过程有许多异于传统的工艺特性,例如工件再回流现象、成批加工、作业等候时限、高良品率的要求、机台宕机率等,以至于一般都将交期不准、周期过长等问题归咎于其生产管理的复杂性及设备系统的不稳定。

 
 

 
 

而电能作为这些昂贵的、极精密的、工作条件非常苛刻的机台设备的“血流”——动力源。其任何微小变化都可能引起这些机台设备的异常状态,从而导致大的损失。比如:IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机、或变频控制的半导体机台都会产生大量的谐波,他们不但会造成机台设备自身的坏机现象,回流进电网的谐波电流还会引起其它回路的发热、电子开关误动作、供电电压不稳,甚至生产线停线、半成品的报废,其损失不可谓不大。而且高能设备如:外延设备、扩散设备、离子注入设备的频繁加卸载,更加重了用电环境的恶化。由此可见半导体制造行业的电能质量问题非常严重,电磁环境非常恶劣。故芯片制造业内部的电能质量问题引起半导体制造行业决策者的重视。

 

为此,作为专业的电能质量“卫士”,英博电气期望通过专业的服务,改善半导体制造企业内部的电能质量环境,以提高设备的可靠性和稳定性,减少制造成本,降低废片率,改善总体设备效能(OEE),提高良品率及产品效能。本次项目采用英博电气BLUEWAVE 6650A 以及电容电抗 20000+ Kvar,可以有效降低系统中谐波含量,降低系统故障率,消除系统安全隐患,提高系统容量利用率,减少日常维护量,节约电能。

 

 

有源滤波器(BLUEWAVE)

BLUEWAVE三电平系列有源滤波器可通过连接的外部电流互感器来直接或间接测量由非线性负载注入电网的电流,谐波及无功分量的检测和运算在数字控制单元中进行。有源滤波器持续产生补偿电流,抵消谐波成分和负载无功电流,使电网中仅有基波电流。有源滤波器能够瞬时适应负载及系统谐波含量幅值的变化,以便其在任何时刻都有最佳响应。

 

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谐波滤除功能

  • 最高可滤除到50次谐波;
  • 在系统容量范围内,对目标谐波的有效滤波能力达到97%;
  • 系统可提供两种滤波模式:
    ①针对50次以内谐波自动全部滤除;
    ②单次谐波选择滤除模式;
  • 在单次谐波选择滤除模式下,可以在50次以内的所有奇数次谐波中任意选择24种谐波同时滤除,并且可以设置每一种谐波的滤除比例;
  • 具有快速的谐波补偿能力(响应时间≤5ms);
 
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无功补偿功能

  • 系统具备无功补偿能力,即功率因数调整能力;
  • 系统提供两种无功补偿方式:

①设置无功补偿百分比(设备容量的比例);

②设置需要达到的功率因数;

 

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平衡三相负荷

  • 平衡三相负荷,避免单相过载,提升变压器有效使用容量;

 

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其他基本功能

  • CT可以根据用户的选择,安装在负载则或者是电网侧,设备能够自动检测CT的极性;
  • 通过设定,可以选择优先补偿谐波还是无功;
  • 系统噪声小于60dB;
  • 系统的防护等级达到IP20;
  • 能够承受10ms的2.5倍过载;